NVT-PSC3600

0.025 μm的超高重复精度， ±0.02%F.S.的超高线性精度， ±60°的超大测量角度， 10kHz的超快采样速度。

详细信息

型号	NVT-PSC3600
参考距离^*1	14.5mm
测量范围	±1.8mm
测量角度^*2	±21°
光斑直径^*3	Φ12μm
静态噪声^*4	160nm
横向分辨率	6μm
线性误差^*5	＜±0.8μm
最小可测厚度	5% of F.S.
温度特征	0.03% of F.S./°C

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